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真空镀膜机工作原理部件组成系统

2019-10-09 11:37 遵化宝瑞钛金设备 次阅读

不仅仅是镀膜应用最多的设备,真空镀膜机也是真空环境使用最广的设备;不同工艺的真空镀膜机工作原理不一而同,工艺对操作方式有影响。真空镀膜机有真空系统、冷却系统、检测系统、镀膜系统;有蒸发镀膜、磁控溅射和离子镀膜方式。

蒸发镀膜通过加热蒸发源使膜材蒸发成分子和原子逸出到需要镀膜的产品表面并冷却凝结成膜。

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离子镀膜利用弧光放电技术,真空条件下点燃阴极源,与阳极源之间形成弧光放电,在偏压的作用下与反应气体化合附着在需镀膜产品表面形成膜层。

磁控溅射利用辉光放电,和离子镀膜不同,辉光放电会产生高速的离子使之轰击靶材(靶材也是需沉积的膜材),产生的溅射粒子附着在需镀膜产品表面形成膜层。

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上述是三种不同工艺真空镀膜机工作原理。

真空镀膜机部件和系统之分:

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不同真空度的镀膜机采用的部件配置不一,对于低真空镀膜机,真空系统只需要配置机械泵即可满足真空度的获取;高真空镀膜机需要配置增压泵、罗茨泵、扩散泵、维持泵等从而实现高真空获取及稳定。

冷却是一切源的必备,真空镀膜机在正常工作下内部会产生高温,冷却系统负责平衡温度、调控温度的作用。

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测量是每个工序必不可缺的,检测系统保证设备正确稳定工作在预定条件,如出现问题能及时排查故障。

在真空镀膜中,误差操作会导致产品最终镀膜效果,了解真空镀膜机工作原理和各个问题的解决方法很重要,本文是宝瑞钛金为大家介绍真空镀膜机工作原理部件组成及系统。

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