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真空镀膜设备与CIGS薄膜太阳能电池镀膜机配套真空泵

2019-09-17 10:33 遵化宝瑞钛金设备 次阅读

真空镀膜设备与CIGS薄膜太阳能电池,a-Si 、CdTe和CIGS是目前薄膜太阳能电池主流技术,而大部分CIGS(铜铟镓硒)电池都采用真空蒸镀方式生产——称为共蒸镀(co-evaporation),将主要材料铜铟镓与硒加热在真空中沉积于基板,这种工艺要实现大面积且均匀的铜铟镓硒膜具有相当的挑战性。

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通过在多个沉积区实现旋转或平面磁场分布使用PV系列热蒸发源,以合适的沉积系统并优化工艺条件,最大程度地提高原料的利用率和降低镀层厚度的不均匀性。最新推出的拥有专利适用于研发和大批量CIGS太阳能电池生产的PV-Series SUMO,采用公认的CIGS太阳能电池制造热沉积源技术,提供业界唯一可规模生产的高效率CIGS热沉积源。其独特的专利坩埚圆柱容器和小锥孔设计,可实现快速流量调节和近乎瞬间流量切断而达到出色的均匀镀膜。

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近年利用真空镀膜设备领先的热蒸发技术的镀膜系统积极切入CIGS薄膜太阳能设备领域,分别用于玻璃与可挠式基板(主要为不锈钢板)的太阳能电池工艺。CIGS转换效率较其它薄膜太阳能电池有明显的优势,起步就可达到10%的转换率,并且还有较大的提升空间,估计3年内极有希望实现14%的转换率,应该是在所有光伏发电技术中最有机会率先实现上网等价点所要求20%转换率的。就CIGS组件寿命而言,其材料本身稳定的结构不易发生变结,足以应对市场光伏产品25年生命周期的承诺。

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