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真空镀膜机为何要清洗?PVD 涂层的基本概念及其特点

2019-07-03 09:45 遵化宝瑞钛金设备 次阅读

PVD 是英文‘Physical Vapor Deposition’的缩写形式,意思 是物理气相沉积。我们现在一般地把真空蒸镀、溅射镀膜、离子镀等都称为物理气相沉积。 

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较为成熟的 PVD 方法主要有多弧镀与磁控溅射镀两种方式。多弧镀设备结构简单,容易操作。它的离子蒸发源靠电焊机电源 供电即可工作,其引弧的过程也与电焊类似,具体地说,在一定工艺气压下,引弧针与蒸发离子源短暂接触,断开,使气体放电。由于多弧镀的成因主要是借助于不断移动的弧斑,在蒸发源表面上连续形成熔池,使金属蒸发后,沉积在基体上而得到薄膜层的,与磁控溅射相比,它不但有靶材利用率高,更具有 金属离子离化率高,薄膜与基体之间结合力强的优点。

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此外,多 弧镀涂层颜色较为稳定,尤其是在做 TiN 涂层时,每一批次均 容易得到相同稳定的金黄色,令磁控溅射法望尘莫及。多弧镀的不足之处是,在用传统的 DC 电源做低温涂层条件下,当涂层厚度达到0.3μm 时,沉积率与反射率接近,成膜变得非常困难。而且,薄膜表面开始变朦。多弧镀另一个不足之处是,由于金属是熔后蒸发,因此沉积颗粒较大,致密度低,耐磨性比磁控溅射法成膜差。 

可见,多弧镀膜与磁控溅射法镀膜各有优劣,为了尽可能 地发挥它们各自的优越性,实现互补,将多弧技术与磁控技术合而为一的涂层机应运而生。在工艺上出现了多弧镀打底,然后利用磁控溅射法增厚涂层,最后再利用多弧镀达到 最终稳定的表面涂层颜色的新方法。 

真空镀膜机为何要清洗?

真空镀膜机为何要清洗?真空镀膜机使用时间久了之后要定期的进行清洗,很多人也会问为什么呢?不经常清洗的话会出现什么问题的么?让我们来分析一下。

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在真空镀膜机使用镀膜材料镀膜之前,对镀膜材料做简单的表面清洁能延长镀膜机使用寿命,因为各种污染物不仅使真空系统不能获得所要求的真空度,还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。推荐阅读:真空镀膜设备维修保养好处有哪些?

真空镀膜机常见的污染物有:

1.油脂包括加工、装配、操作的时候沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等;

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2.操作时候的手汗,吹气的时候的水汽和唾液等等;酸、碱、盐类物质清洗时的残余物质、手汗、水中的矿物质等;还有抛光残渣及环境空气中的尘埃和其它有机物。

清洁这些污染物的目的是为了改进真空镀膜机工作稳定性,使工作可以更顺利的进行。

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