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真空镀膜机溅镀的原理是什么真空镀膜机为什么要定期清洗?

2019-07-10 15:29 遵化宝瑞钛金设备 次阅读

溅镀,一般指的是磁控溅镀,归于高速低温溅镀法.

该技能请求真空度在1×10-3Torr摆布,即1.3×10-3Pa的真空状况充入慵懒气体氩气(Ar),并在塑胶基材(阳极)和金属靶材(阴极)之间加上高压直流电,因为辉光放电(glow discharge)发生的电子激起慵懒气体,发生等离子体,等离子体将金属靶材的原子轰出,堆积在塑胶基材上.

真空镀膜机溅镀的原理是什么

以几十电子伏特或更高动能的荷电粒子炮击资料外表,使其溅射出进入气相,可用来刻蚀和镀膜。入射一个离子所溅射出的原子个数称为溅射产额(Yield)产额越高溅射速度越快,以Cu,Au,Ag等最高,Ti,Mo,Ta,W等最低。一般在0.1-10原子/离子。离子能够直流辉光放电(glow discharge)发生,在10-1—10 Pa真空度,在两极间加高压发生放电,正离子会炮击负电之靶材而溅射也靶材,而镀至被镀物上。

正常辉光放电(glow discharge)的电流密度与阴极物质与形状、气体品种压力等有关。溅镀时应尽也许保持其安稳。任何资料皆可溅射镀膜,即便高熔点资料也简单溅镀,但对非导体靶材须以射频(RF)或脉冲(pulse)溅射;且因导电性较差,溅镀功率及速度较低。金属溅镀功率可达10W/cm2,非金属<5W/cm2

真空镀膜机为什么要定期清洗?

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真空镀膜机使用时间久了之后要定期的进行清洗,很多人也会问为什么呢?不经常清洗的话会出现什么问题的么?让我们来分析一下。

在真空镀膜机使用镀膜材料镀膜之前,对镀膜材料做简单的表面清洁能延长镀膜机使用寿命,因为各种污染物不仅使真空系统不能获得所要求的真空度,还会影响真空部件连接处的强度和密封性能。

真空镀膜机常见的污染物有:

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1.油脂包括加工、装配、操作的时候沾染上的润滑剂、切削液、真空油脂等;

2.操作时候的手汗,吹气的时候的水汽和唾液等等;酸、碱、盐类物质清洗时的残余物质、手汗、水中的矿物质等;还有抛光残渣及环境空气中的尘埃和其它有机物。

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清洁这些污染物的目的是为了改进真空镀膜机工作稳定性,使工作可以更顺利的进行。

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