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X精密光学镀膜机的保养措施溅射镀膜和蒸发镀膜有哪些不同?

2019-07-30 09:48 遵化宝瑞钛金设备 次阅读

精密光学镀膜机在保养的时候有哪些保养方面的措施我们可以有所了解,下面的内容中我们就来了解。

一:定期更换扩散泵油

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扩散泵油使用一段时间,约二个月两班:,因在长期高温环境,虽然较高真空时才启动扩散泵,但仍残留氧气及其它成份使之与扩散泵油起反应,扩散泵油在高温下也可能产生裂解,使其品质下降,而延长抽气时间。在我们认为时间延长得太多时,应予更换。

二:真空泵

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机械泵油、维持泵油在使用二个月,油质会发生变化。因油可能抽入水分、杂质及其它原因,而使用油粘性变差,真空下降,故需要更换。如为新设备,在使用头半个月即应更换,因在磨合期,油含磨合铁粉较多,会加剧磨损。

三:清洁卫生

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定期将设备及其周围环境卫生搞好,常保持设备内外清洁,将设备周围环境整理有条,有一个好的工作环境,以保安全。

溅射镀膜和蒸发镀膜有哪些不同?

溅射镀膜和蒸发镀膜有哪些不同?蒸发镀膜是加热靶材使表面组分以原子团或者离子形式被蒸发出来,且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。

蒸发镀膜组分均匀性不是非常容易保证,具体能调控因素同上,但因为原理有限,对非单一祖分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。

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溅射镀膜能简单理解为利用电子或者高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或者离子形式被溅射出来,且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。真空镀膜机设备。

溅射镀膜又分成许多种,和蒸发镀膜的不同之处就是在于溅射速率将成为主要的参数之一。

真空镀膜机公司指出,溅射镀膜中的激光溅射镀膜pld,组分均匀性非常容易保持,而原子尺度的厚度均匀性相对比较差(因为是脉冲溅射),晶向(外沿)生长的控制也比较一般。

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