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真空镀膜机的维修问题真空蒸镀铝涂层

2019-06-20 17:14 遵化宝瑞钛金设备 次阅读

在工业生产中,真空镀膜机在很多行业都能用到,例如制表行业、汽车行业、五金行业等,但是长期使用真空镀膜机难免会遇到故障问题,如果出现故障又该怎样维修呢?由专业的真空镀膜机厂家来介绍一下。

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在真空镀膜机的所有部件中,扩散泵连续使用6个月以上,抽速就会明显变慢,或操作失当,充入大气。其维修方法是:拆去联结水管,卸下电炉盘,将一级喷嘴拧出,先用汽油将泵腔及泵胆清洗一遍,再用洗衣粉兑水清洗一遍,然后用清水彻底清洗干净,待水份挥发干以后,装好泵胆,加入新扩散泵油,并装回机体,接好水管,装好电炉盘,便可以重新开机。在重新开机前,要注意检漏工作。启动维持泵,关好大门,数分钟后,观察扩散泵部分真空度是否达到6X10帕,否则要进行检漏。检查联接处是否装密封胶圈,或压坏密封圈。排除漏气隐患后方可加热,否则扩散泵油会烧环,无法进入工作状态。

真空蒸镀铝涂层

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在纯金属涂层的制备上,大都采用真空蒸发镀法。而纯金属中铝涂层,由于它用途广泛,如制镜工业中的以铝代银,集成电路中的铝刻蚀导线;聚酸薄膜表面镀铝制作电容器;涤纶聚酯薄膜镀铝的制作、防止紫外线照射的食品软包装;涤纶聚酯薄膜镀钴后再镀铝制作磁带等。因此,今年来真空镀铝工业在国内外不但发展迅速,而且,正向着溅射法、离子镀法等镀膜技术领域发展。

真空蒸镀铝薄膜可选用间歇式蒸发镀膜,也可选用半连续式真空镀膜机。其蒸发源可为电阻源,电子束源,也可以选用感应加热式蒸发源,可依据蒸镀膜材的具体要求而定。

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真空蒸发镀铝涂层的工艺参数,主要包括蒸镀室的压力、沉积速率、基片温度、蒸距等。如果从膜片基体上分布的均匀性上考虑,还应注意蒸发源对基片的相对位置及工件架的运动状态等方面因素。例如,选用电子束蒸发源进行铝涂层制备时,其典型的主要工艺参数可选用:镀膜室工作压力为2.6X10-4Pa、蒸发速率为2~2.5nm/s、基片温度20℃、蒸距450nm、电子束枪电压为9kV,电流为0.2A。

实验表明:电子束蒸镀法所得到的膜厚分散度较大,即均匀性较差。这也是近年来真空镀铝膜有向着溅射法和离子镀法发展制备铝膜的趋势原因之一。

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