宝瑞钛金设备

BAORUI TITANIUM EQUIPMENT

宝瑞钛金PVD设备真空泵在真空系统中所起的作用

2019-05-16 09:37 宝瑞钛金 次阅读

由于各种真空的性能除均能满足对容器进行抽真空的共同点之外,尚具有不同之处。因此在选用时必须明确泵在真空系统中所承担的工作任务。

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泵在各种不同工作领域中所起的作用归纳起来主要有如下几个方面:

1.主泵

所谓主泵就是对真空系统被抽容器直接进行抽真空,以获得满足工艺要求所需真空度的真空泵

2.粗抽泵

粗抽泵是指从大气压开始降低真空系统压强达到另一抽气系统可以开始工作的真空泵。

3.前级泵

前级泵是指用于使另一个泵的前级压强维持在其z*高许可的前级压强以下的真空泵。

4.维持泵

维持泵是指当真空系统抽气很小时,不能有效的利用主要前级泵。为此,在真空系统中另配一种抽气速度较小的辅助前级泵来维持主泵的正常工作或维持已抽空的容器所需的低压的真空泵。

5.粗真空泵或低真空泵

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粗、低真空泵是指从大气开始,降低被抽容器的压强后工作在低真空或粗真空压强范围内的真空泵。

6.高真空泵

高真空泵是指在高真空范围工作的真空泵。

7.超高真空泵

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超高真空泵是指在超高真空范围工作的真空泵。

8.增压泵

增压泵通常指工作在低真空泵和高真空泵之间,用以提高抽气系统在中间压强范围的抽气量或降低前级泵抽气速率要求的真空泵。

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