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光学真空镀膜设备该如何进行保养

2019-02-13 10:55 宝瑞钛金 次阅读

光学真空镀膜设备主要由真空镀膜机室、真空抽气机组限及电柜(控制电柜、电子枪电枢)组成,其广泛应用于微电子、光学成膜、民用装饰、表面工程等领域。光学真空镀膜设备在防止油污染和缩短工作周期等方面具有卓越的性能。

光学真空镀膜设备工作原理是在高真空状态下、利用电子束对金属或非金属材料加热到适当的温度,材料受热后蒸发成蒸汽分子。

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它的平均自由程比蒸发源至被蒸发基片距离大,蒸发出来的蒸汽分子向四处直射,碰到基片就沉积在基片表面形成腊层。

精密光学真空镀膜设备在保养的时候有哪些保养方面的措施,下面的内容中我们就来了解。

一:定期更换扩散泵油

真空镀膜机扩散泵油使用一段时间,约二个月两班:,因在长期高温环境,虽然较高真空时才启动扩散泵,但仍残留氧气及其它成份使之与扩散泵油起反应,扩散泵油在高温下也可能产生裂解,使其品质下降,而延长抽气时间。在我们认为时间延长得太多时,应予更换。

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二:真空泵

真空镀膜机机械泵油、维持泵油在使用二个月,油质会发生变化。因油可能抽入水分、杂质及其它原因,而使用油粘性变差,真空下降,故需要更换。如为新设备,在使用头半个月即应更换,因在磨合期,油含磨合铁粉较多,会加剧磨损。

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三:清洁卫生

定期将真空镀膜设备及其周围环境卫生搞好,常保持设备内外清洁,将真空镀膜设备周围环境整理有条,有一个好的工作环境,以保安全。

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